隨 5G、物聯網及高效能運算等新興科技應用快速拓展，半導體市場持續暢旺，為因應此波需求，半導體大廠積極擴充產能，加上政府積極推動國內半導體設備及零組件產業升級，以及企業建構在地採購供應鏈吸引國際大廠在台投資建廠，帶動台灣半導體設備產值自 2012 年起已連續 8 八年正成長，經濟部統計處指出，2020 年 1~11 月台灣半導體設備產值已來到 594 億元，年增 9.5%，預期全年度產值可達 650 億元以上，續創佳績。
經濟部統計處指出，國產半導體設備包含生產、檢測兩大類，其中以生產設備及零件占大宗，主要供應國內市場為主，內銷比重約占七成，近年生產設備廠商積極投入研發製造，持續接獲國內大廠訂單，產值自 2012 年起連續 8 年二位數成長，占整體產值比重亦逐年攀升，2019 年已達 75%，為台灣半導體設備產值連年成長的主要貢獻來源，2020 年 1~11 月產值續增 15%。另外，檢測設備及零件內外銷市場比重約占各半，隨國內半導體廠擴建產能需求熱絡，2020 年 1~11 月內銷產值成長 11%，內銷比重突破六成。
以半導體設備出口來看，依據海關進出口統計，2020 年我國半導體設備出口值（不含復出口）為 15 億美元，年增 29%；其中，以中國為最大外銷市場，占 44%，出口金額約 7 億美元，年增 3.7%；其次依序為新加坡占 18%、美國占 14.4% 及馬來西亞占 6.9%，出口金額分別年增 89.5%、53.9% 及 67.3%，三者合計對出口成長貢獻達 21.1 個百分點，為 2020 年出口成長的主要貢獻來源。
據國際半導體產業協會（SEMI）統計，2020 年全球半導體製造設備銷售金額將創下 689 億美元的新紀錄，其中，台灣為全球第二大的設備需求市場。
依據海關統計，除了 2019 年因進口高單價的晶片微影設備，荷蘭躍升為最大進口國外，日本及美國一向為台灣主要半導體設備進口來源，2020 年台灣半導體設備進口值（不含復進口）為 230 億美元、年減 1.1%，其中，自日本進口 55 億美元占 23.7% 居首，自美國進口占 22.2% 居次，自荷蘭進口占 21.7% 居第三。
統計處表示，台灣擁有全球最完整的半導體產業聚落及專業分工，惟主要生產設備及材料多須仰賴國外，為提高半導體供應鏈自給率，政府積極推動台灣成為「半導體先進製程中心」，期吸引更多國際設備及材料大廠來台投資，同時厚植國內業者研發及技術量能，落實供應鏈的自主化與國產化，藉以提高台灣產業的國際競爭力。
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