根據南韓媒體《BusinessKorea》的報導，日前南韓三星電子副董事長李在鎔前往荷蘭拜訪曝光機大廠艾司摩爾 (ASML)，其目的就是希望 ASML 的高層能答應提早交付三星已經同意購買的極紫外光曝光設備 (EUV)。

根據報導指出，李在鎔在荷蘭當地時間 10 月 13 日拜訪 ASML 時，就與該公司的執行長 Peter Wennink 會面。而報導也轉述荷蘭當地媒體的報導表示，李在鎔在與 Peter Wennink 見面的會議上，李在鎔要求 ASML 能夠同意提前一個月交付三星已經同意購買的 9 部 EUV。而對於李在鎔的要求，ASML 目前正在考慮中，使得這些原本預計在最快 11 月份交付的設備能提前 1 個月運往南韓。

報導進一步指出，目前三星極需要透過 EUV 曝光設備來優化旗下晶圓代工業務的先進製程，用以在市場上爭取客戶訂單，而進一步拉近與晶圓代工龍頭台積電的差距。目前，ASML 是當前全球唯一生產 EUV 設備的廠商，而 EUV 設備對於在晶圓代工中的先進製程，尤其是在當前最先進的 5 奈米或未來更進一步的半導體製程中至關重要。而三星目前極需要將這些 EUV 設備安裝於三星正在建設的南韓平澤 2 號工廠的新晶圓代工產線，以及正在擴建的南韓華城 V1 產線上。

據了解，三星電子已經於 2020 年 5 月份，在南韓平澤的 2 號工廠中開始設置晶圓代工的產線，該公司計劃在該條新晶圓代工產線上投資約 10 兆韓圜，並預計於 2021 年下半年開始全面量產。至於，在南韓華城工廠內的 V1 產線，則已經於 2019 年投入營運，該產線專門以 EUV 技術來協助量產 7 奈米製程的晶片。目前該產線正在擴產中，預計未來將投入 5 奈米和 5 奈米以下更先進製程的晶片生產。對此，三星也計劃到 2020 年底，將華城 V1 產線的晶圓月產能提升至 2 萬片的規模。

就因為三星加緊對晶圓代工的先進製程擴產，因此確保 EUV 曝光設備能夠確實裝機，是目前三星最緊迫的任務。如果 EUV 設備的裝機時程被延後，則三星希望藉由 EUV 設備來優化先進製程，進一步獲得全球半導體客戶青睞而取得訂單的機會，則可能會拱手讓給競爭對手台積電。

以目前來說，三星目前已經開始營運的有 10 部 EUV 設備，另外還已經在 2020 年向 ASML 下單訂購了約 20 部的 EUV。但反觀台積電則更是來勢洶洶，目前不僅已經營運 20 部以上的 EUV 設備，還宣布到 2022 年時將再購買 60 部 EUV 設備。這情況也讓李在鎔更加心急，不得不飛往荷蘭與 ASML 高層進行協商。

(首圖來源:三星)