根據中國媒體報導指出，中國電子科技集團有限公司於 3 月 17 日對外宣佈，該集團旗下裝備子集團已成功達成離子注入機全系列產品的國產化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，其製程技術涵蓋達到 28 奈米的水準，期望為全球晶片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。
報導解釋，離子注入機是晶片製造中的關鍵裝備。在晶片製造過程中，需要摻入不同種類的元素，使得依預定方式改變材料的導電性。而這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量，再注入至特定半導體材料中，使其成為半導體晶片製造的材料，因此離子注入機就是執行這一元素參雜技術的設備。
報導強調，中國電子科技集團連續突破高性能離子源、高速晶圓傳輸等受限技術，自主研製中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，製程技術涵蓋達到 28 奈米水準，累計形成核心發明專利 413 項，實現中國晶片製造領域全系列離子注入機自主創新發展，有效緩解當前中國晶片製造領域 「斷鏈」、「短鏈」 難題。
而受到該消息的激勵，中國上證 A 股的相關第三代半導體概念股，包括蘇州固鍀、派瑞股份、乾照光電、聚燦光電、聞泰科技股價集體走高。其中，蘇州固鍀收盤上漲 9.95%、派瑞股份上漲 11.37%、乾照光電上漲 3.92%、聚燦光電上漲 4.38%、聞泰科技則是上漲 6.39%。
另外、中國電子科技集團裝備子集團有關負責人對媒體指出，集團的下一步是將瞄準高階，緊跟先進製程來發展，加快研發適用於更先進製程節點的離子注入機，並積極將其推進產業化的階段。
(首圖來源:Flickr/Dmitry Sumin CC BY 2.0)
