晶圓代工龍頭台積電在 ESG 電子報上表示，因為致力實踐綠色製造，持續以創新技術追求能源與資源最佳使用效率，繼引領業界開發世界級半導體綠色機臺，更在不影響生產機臺效能的前提下，攜手應用材料公司與附屬設備供應商針對非生產區 （Sub-fab） 的附屬設備打造 「iSystem 物聯網智慧節能控制系統」，並已導入晶圓十五 B 廠 80 種製程、588 臺生產機臺所屬的 2,351 臺真空幫浦、805 臺現址式尾氣處理系統，達成年度省電 1,340 萬度、減少 13,800 公噸碳排放量，成功創造新台幣 8,500 萬元的節能效益。
台積電指出，半導體晶圓製造過程中會使用不同的製程氣體，一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉，為提高能源使用效率。民國 105 年，台積電攜手供應商開發及導入「iSystem 物聯網智慧節能控制系統」，將其做為生產機臺與附屬設備之間的對接橋樑，根據半導體設備通訊標準讀取生產機臺的 ECID/SVID，獲得製程氣體實際使用狀態，再依照附屬設備運轉穩定性與去除效率驗證所定義的控制參數，即時對附屬設備下達對應的指令，使其可依生產機臺使用的製程氣體，同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。
除了節能模式，台積電與供應商依照半導體協會標準，進一步開發附屬設備的睡眠模式 （Sleep Mode） 與休息模式 （Rest Mode），當生產機臺於較長時間未運轉時，可節省更多能耗。此外，台積電並持續依據去除效率驗證結果，優化附屬設備運轉控制層級及其參數，以提升能源使用效率，並降低氮氧化物 （NOx） 產生，達到節能與環保的雙重效益。
而為更系統化落實節能行動並確保成效，民國 109 年，台積電將 「ISO 50001 （Energy Management System, EnMS） 能源管理系統」 導入 iSystem。根據 iSystem 收集附屬設備的能耗資料，建立能源績效指標 （EnPI） 與能源基線 （EnB），自動計算節能量。同時與內部資訊技術單位合作，開發建置 iSystem 異常管理系統與節能報表系統，以利更精準掌握能源使用量，並進一步計畫將能耗資料儲存於雲端，透過 AI 與機器學習技術自動偵測、即時通報能源使用異常狀況，亦可藉由大數據分析獲得最佳的運轉操作參數，極大化能源使用效率。
為更擴大節能效益與使用範圍，台積電亦尋求與其他半導體設備供應商合作，所有製程及生產機臺的附屬設備皆計畫導入智慧節能機制，目前除了晶圓十五 B 廠持續進行應用開發與建置外，晶圓十八廠亦於民國 110 年開始導入，並將逐步推展至台灣廠區所有 12 吋晶圓廠，預計未來每年可省電 8,200 萬度、減少 84,600 公噸碳排放量，創造新台幣 5 億 2,000 萬元的節能效益，持續朝碳中和與淨零碳排放的永續目標邁進。
（首圖來源：官網）
